ビューイングポート

ビューイングポート

タイプ 分類 最大ベーク温度 窓材質 スリーブ材質 リーク量
ゼロレングス 400℃ 7056ガラス コバール 1×10-11Pa・㎥/sec以下
非磁性 400℃ 7056ガラス 304SS 1×10-11Pa・㎥/sec以下
クオーツ 200℃ クオーツ 304SS、銀ろう付 1×10-11Pa・㎥/sec以下
サファイア 450℃ 酸化アルミ単結晶 コバール、銀ろう付 1×10-11Pa・㎥/sec以下