ビューイングポート

ビューイングポート

・規格のゼロレングスタイプビューポートの他、特殊フランジガラス交換タイプを製作致します。

各種製作品：超高真空用メタルガスケット・ガラス交換タイプなど

■製作品

溶着ゼロレングスビューイングポート

タイプ 分類 最大ベーク温度 窓材質 スリーブ材質 リーク量
Ａ ゼロレングス 400℃ 7056ガラス コバール １×１０-11Pa・㎥/sec以下
Ｂ 非磁性 400℃ 7056ガラス 304SS １×１０-11Pa・㎥/sec以下
Ｃ クオーツ 200℃ クオーツ 304SS、銀ろう付 １×１０-11Pa・㎥/sec以下
Ｄ サファイア 450℃ 酸化アルミ単結晶 コバール、銀ろう付 １×１０-11Pa・㎥/sec以下

タイプＡ　ゼロレングス

　型　式 ﾌﾗﾝｼﾞ 開口径mm ｶﾞﾗｽ厚さmm ﾌﾗﾝｼﾞ厚さmm ﾎﾞﾙﾄ穴PCDΦmm
VP-075 ICF34 15.8 1.8 7.2 27
VP-150 ICF70 35.6 2.7 12.7 58.7
VP-250 ICF114 68.4 4.3 17.5 92.2
VP-400 ICF152 98.6 5.1 20 130.3
VP-600 ICF203 136.7 9.5 22 181.1