高気密・高安定性を備えた超高真空チャンバーです。
標準で、内外面＃４００機械研磨後、電解研磨及び精密洗浄を行います。
また、純水によるピュアニール処理を行いますと、内部清浄度が高まり、短い排気時間で優れた真空再現性を実現します。
弊社独自開発製品の無酸素 Pd/Ti コート非蒸発型ゲッターコーティングとの併用により、チャンバー内部の真空履歴が安定し、
大気開放を伴う装置でも高い再現性を維持できます。
ターボ分子ポンプタンデム排気により、ベーキングを行わなくても、１０-8Paオーダーでの排気が可能になります。