■Pd/Tiコート非蒸発型ゲッターポンプ（BaroqueNEG-Pd/Ti）の特徴
当社は、高エネルギー加速器研究機構様との共同研究により、 フランジ表面に無酸素 Pd/Ti コート非蒸発型ゲッターポンプを形成する　　　　　　　　　　　　独自技術を確立しました。
この技術により、
　　• ICF34〜ICF253まで幅広いサイズで製品化
　　• フランジそのものがゲッターポンプとして機能
　　• 追加スペース不要の省スペース設計
　　• 既存装置への組み込みが容易
これまでに 239枚のフランジをご採用いただき、研究機関・企業装置で高い評価を得ています。

■BaroqueNEGコーティングによる真空性能向上
無酸素 Pd/Ti コート非蒸発型ゲッターポンプの開発で培った経験を生かして、ステンレス容器内部に BaroqueNEGコーティングを施すことで、　　　　　　　容器からの放出ガス（H₂O・H₂など）を大幅に低減できることが確認されています。
特に以下のような装置で効果を発揮します：
　　• 大型チャンバーでベーキングが困難
　　• センサー・電気部品を高温にできない
　　• 装置全体を加熱したくない
　　• 水分やH₂などの残留ガスを極力減らしたい
BaroqueNEGコーティングは、 「真空容器そのものをガス吸着材として機能させる」 という新しいアプローチで、真空度向上に貢献します。

■ 新技術：ベーキングレスで10⁻⁸ Paオーダーを実現 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　今期より、当社は新たに 「ベーキングレスで10⁻⁸ Paオーダーを実現する BaroqueNEG技術」 をご提案いたします。
立証実験では、 10⁻⁹ Pa〜10⁻¹⁰ Paの到達真空度を確認しており、 従来のベーキング工程を省略できる可能性を示しています。

▼この技術が解決する課題
　　• 超高真空へ早く到達したい
　　• もう一桁真空度を向上させたい
　　• 装置の熱負荷を減らしたい
　　• ベーキング工程の時間・コストを削減したい
BaroqueNEG 技術は、 「真空到達時間の短縮」と「到達真空度の向上」を同時に実現するソリューションです。