水冷４象限スリット

水冷、水平・垂直のビーム調整機構付

２連下流シャッター

水冷無酸素銅マスク

IN・OUT用SUSﾊﾟｲﾌﾟで水冷します。

２連シャッター角型

シャッター角ﾊﾟｲﾌﾟ・ﾎﾟｰﾄつき

シャッター角ﾊﾟｲﾌﾟ

ＩＣＦ１１４水冷Ｂｅｳｨﾝﾄﾞｳ

ＩＣＦ７０水冷Ｂｅｳｨﾝﾄﾞｳ

ＪＩＳフランジＢｅｳｨﾝﾄﾞｳ

ＩＣＦ２０３Ｂｅｳｨﾝﾄﾞｳ

ＪＩＳフランジＢｅｳｨﾝﾄﾞｳ

ＩＣＦ２５３Ｂｅｳｨﾝﾄﾞｳ

ＪＩＳフランジＢｅｳｨﾝﾄﾞｳ